ものづくり補助金は、採択企業の企業名ともに「事業計画名」という30文字程度の「補助金を使って実行しようとしている事業内容の要約」が公開されます。
2019年（H30年補正2次）のものづくり補助金1次採択結果の事業計画名を、KH Coderというテキストマイニングソフトで分析してみました。

KH Coder: 計量テキスト分析・テキストマイニングのためのフリーソフトウェア
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テキストマイニングとは、文章データを単語や文節で区切り、それらの出現の頻度、傾向などを解析し有用な情報を取り出す方法です。詳細はwikipediaを参照ください。

テキストマイニング – Wikipedia
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事業計画名にはどんな単語（連語）が出がちなのでしょうか？

「生産性向上」が、二位以下を大きく引き離して最もよく出てくるキーワードとなっています。
上位を見ると、「革新的サービス」ではなく「ものづくり技術」累計で使われたとおぼしきキーワードが多いですね。

過去のデータで、ものづくり技術での採択が8割、革新的サービスが2割という結果であったため、ものづくり技術累計のキーワードが多く出るのは納得です。

これらのキーワードを使えば受かる、というわけではないでしょう。
また、他の申請書から目立たせるために「敢えて」これらのキーワードを使わない、という選択肢もあり得ます。

難しいところですね。